晶片产品参数

电学参数

UID
：1×10¹⁶~5×10¹⁷ cm-3
；Sn：≥1×10¹⁸ cm-3；Fe
：绝缘≥1×10¹⁰ Ω·cm

晶面：(001)

双晶摇摆半高宽：≤150”

位错密度

：<1×10⁵ cm^-2

尺寸：10 mm×10.5 mm×0.5 mm

参考边：长边为[010]方向

加工指标

晶面偏差






：<±0.5°

；厚度: 0.5 mm±0.05 mm



；表面抛光
：单面抛光；表面粗糙度
：抛光面 Ra<0.5 nm

产品外形示意图